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電極成膜

電極成膜

■スパッタリング技術で、高純度高精度な電極膜を形成します。
ターゲット純度や組成についてはお問合せください。

■スパッタリング技術で、形成可能な薄膜種類
・磁性膜:Fe/Ta系、高純度Fe<パーメンジュール>
・電極形成膜:Au、Cr、Ni/Cr
・絶縁性膜:SiO2、Al2O3
 Certificate Number 3619
ISO9001,ISO14001
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