薄膜微細加工HOME ＞ 薄膜微細加工電極成膜電極成膜スパッタリング技術で、高純度高精度な電極膜を形成します。【電極膜種類：Au, Cr, NiCr 】ターゲット純度や組成についてはお問合せください。詳しくはこちら詳しくはこちら詳しくはこちらMEMS技術MEMS技術SiO2薄膜＜厚さ0.5～5.0µｍ＞を、矩形形状に加工します。線幅値や形状アスペクト比について、お問い合わせ下さい。形状設計のご協力をさせていただきます。詳しくはこちら詳しくはこちら詳しくはこちらMEMS技術に関する外部リンク一般財団法人マイクロマシンセンター産業のマメ：MEMS
