MEMS技術HOME > 薄膜微細加工 > MEMS技術MEMS技術SiO2薄膜<厚さ0.5~5.0µm>を、矩形形状に加工します。線幅値や形状アスペクト比について、お問い合わせ下さい。形状設計のご協力をさせていただきます。MEMS技術に関する外部リンク一般財団法人マイクロマシンセンター産業のマメ:MEMS