■スパッタリング技術で、高純度高精度な電極膜を形成します。
ターゲット純度や組成についてはお問合せください。

■スパッタリング技術で、形成可能な薄膜種類
・磁性膜：Fe/Ta系、高純度Fe＜パーメンジュール＞
・電極形成膜：Au、Cr、Ni/Cr
・絶縁性膜：SiO₂、Al₂O₃